凈化車間特征
潔凈度等級一般為萬級,室內(nèi)要求恒溫恒濕,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按照標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格控制,ESD控制嚴(yán)格即靜電有特別要求。相對濕度控制在50-60%之間,以免導(dǎo)致廠房干燥從而產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。
結(jié)構(gòu)材料
1.墻面天花:凈化廠房墻、頂板材采用50mm厚夾芯彩鋼板,角與角之前的拼接選用圓弧連接,宜清潔且美觀;
2.地坪:用2mm/3mmPVC防靜電地坪,減少靜電干擾;
3.管道:送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板;
4.送風(fēng)口:送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
凈化無塵車間工程對于基于慣性機(jī)理的大顆粒粉塵,按照傳統(tǒng)理論,風(fēng)速降低后,粉塵與纖維碰撞的概率就會降低,過濾效率也會降低。但在實(shí)踐中,這種效果并不明顯,因?yàn)轱L(fēng)速較小,纖維對灰塵的反彈力也較小,灰塵更容易被粘附。
風(fēng)速高,阻力大。如果過濾器的使用壽命以終阻力為基礎(chǔ),則風(fēng)速高,過濾器的使用壽命短。普通用戶很難實(shí)際觀察到風(fēng)速對過濾效率的影響,但觀察風(fēng)速對阻力的影響要容易得多。
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